產品詳情
  • 名稱: 碳化硅涂層單晶爐熱場

  炭/陶熱場產品具有低成本、抗侵蝕、長壽命等特點,主要用于材料(例如:單晶硅或多晶硅)的熔融、提純等領域。
  其中,單晶硅拉制爐用炭/陶坩堝已累計生產不同規格(20、22、24吋)產品600余件,保證了產品批次的穩定性,使用壽命比傳統炭/炭坩堝提高30%左右。
  炭/陶及進行碳化硅涂層處理過的石墨產品具有耐高溫、質量輕、強度高等特點,可承受2000℃高溫。經碳化硅涂層的石墨產品耐高溫、耐化學腐蝕、廢氣及粉塵產生量小。
  超碼提供炭/陶材料產品與碳化硅涂層的研發、設計與制造,可應用于單晶硅拉制爐、硅外延設備、MOCVD設備。
  產品包括:單晶硅直拉爐用坩堝、熱屏外膽、堝幫、蓋板等,LED外延用碳化硅涂層石墨基座,有色金屬冶煉用炭/陶坩堝,電子封裝用碳化硅涂層石墨板。

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